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⑴天花板係統
包括吊杆(Ceilingrod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceilinggrid或Ceilingframe)。
⑵空調係統
包括空氣艙、過濾器係統、風車等。
⑶隔牆板(Partitional wall)
包括窗戶、門。
⑷地板
包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾塗地麵。
⑸照明器具
包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無塵室之建築主體構造
一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件:
A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕;
B.不易產生微塵粒子,且很難附著粒子;
C.吸濕性小;
D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高;