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關注這裏,了解更多相關內容1、半導體集成電路要求的空氣潔淨度等級
集成電路生產環境要求的空氣潔淨度等級主要取決於集成電路的集成度,不同工序的空氣潔淨度等級是依據可能汙染的概率和對器件的潛在故障確定的。
舉例說明:
例一、某廠集成電路前工序潔淨廠房,亚洲午夜成人网站設計按加工、生產6英寸矽片、1M集成電路,圖形特形尺雨1.0um,控製粒子粒徑0..1um.
亚洲午夜成人网站空氣潔淨度等級要求:
光刻、勻膠區 ISO 3級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區 ISO 3級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區 ISO 5級
例二、某廠集成電路前工序潔淨廠房,亚洲午夜成人网站設計按加工、生產5英寸矽片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um,控製粒子粒徑0.2um.
亚洲午夜成人网站午夜精品视频在线空氣潔淨度等級要求:
光刻、勻膠區 ISO 3級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區 ISO 4級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區 ISO 6級
2、一些電子產品生產環境的空氣潔淨度等級
隨著信息產業技術的發展,許多電子產品性能、質量的提高和生產過程的微細化,日益要求生產環境具有一定的空氣潔淨度等級和控製亚洲午夜成人网站內工藝生產所需的各類高純物質的供給質量,目前國內外還沒有統一電子產品的空氣潔淨度等級或生產環境控製要求的統一規定,各種電子產品的生產廠家依據其生產的產品品種、所采用的生產工藝技術、生產工藝設備、生產用原輔料以及亚洲午夜成人网站運行的實踐經驗確定設計建造亚洲午夜成人网站的空氣潔淨度等級。
舉例說明:
例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產用亚洲午夜成人网站,TFT-LCD具有體積小、質量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優點。
各亚洲午夜成人网站空氣潔淨度等級,控製粒子粒徑為0.3um
清洗、塗膠、曝光間 ISO 4級
顯影、刻蝕間 ISO 5級
成盒間 ISO 5級
濺射、CVD間 ISO 6級
例二、某高密度磁帶生產用潔淨廠房、亚洲午夜成人网站控製微粒粒徑0.5um
各亚洲午夜成人网站的空氣潔淨度等級要求
塗布頭 ISO 5級
備件、切帶、帶基、測試、塗布間和烘幹、固化間 ISO 6級
組裝、維修間和部分原料庫 ISO 7級
砂磨、化驗間和配件間 ISO 8級
成品庫和部分原料庫 準潔淨間
3、精密機械、精細化工等產品生產環境的空氣潔淨度等級
例一、一個陀螺儀生產用亚洲午夜成人网站午夜精品视频在线
亚洲午夜成人网站空氣潔淨度等級要求
裝配間 ISO 6級
軸承加工間 ISO 5級
例二、一個感光膠片生產用亚洲午夜成人网站
流延機頭部,塗布機頭部 ISO 5級
塗布室,流延機室 ISO 6級
等等......