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1、耐久性
無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾係統的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建造。半導體Fabs傾向選擇鋁,基於它的耐久性,然而,它不是便宜的物質。
2、清洗
在製藥和生物工學工業,無塵室的牆壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性病毒或細菌的汙染之特性。在biotech市場,清洗真正是一個企業最重要。
3、成本
微電子C/R建設費可能花費到億。fab能更快的被建造起來,產品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而成本將成為一個很重要的考慮因素。
4、適應性
一些廠商認為適應性可節省一筆金錢,而適應性意指係統可任意移動或改變而不會招致極大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變C/R的關鍵,所以他們從不將最初的設計定型。
5、維護性
對無塵室C/R而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及牆壁的部分。至於維修的問題,對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優先級。在應用力麵、天花板、地板及牆壁三者之中最重要的為天花板,其包含 HEPA 及 ULPA 等濾網,其可過濾掉房間的微粒子,且其常會因各個不同的需要,便其分開來,供應各個不同區域的小房間,曾有人說 :若建造之預算因某種原因被限製,除了少數的小錢外,其天花板將趨於更貴的地步,其實天花板是一個頗複雜的係統其必須嚴格地過濾粒子,故其設計必須精確。